Вакуумни компоненти

Топлинната обработка включва главно процеси на окисляване, дифузия и отгряване.Окисляването е допълнителен процес, при който силиконовите пластини се поставят във високотемпературна пещ и се добавя кислород, за да реагира с тях, за да образува силициев диоксид върху повърхността на пластината.Дифузията е за преместване на вещества от областта с висока концентрация към областта с ниска концентрация чрез молекулярно термично движение и процесът на дифузия може да се използва за допиране на специфични допинг вещества в силициевия субстрат, като по този начин се променя проводимостта на полупроводниците.